用于在衬底的选择性区域上沉积膜的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于在衬底的选择性区域上沉积膜的方法和装置。所公开标的物的实施例提供在衬底的选择性区域上沉积膜的系统和方法。可以从具有多个喷嘴组合件的喷射头的第一喷嘴组合件喷出第一材料的第一喷流，以在所述衬底上形成膜沉积的第一部分。可以从所述多个喷嘴组合件的第二喷嘴组合件喷出第二材料的第二喷流，所述第二喷嘴组合件在所述多个喷嘴组合件与所述衬底之间平行于运动方向与所述第一喷嘴组合件对齐，并且所述第二材料不同于所述第一材料。当使用反应性气体前驱物时，所述第二材料可以与所述膜沉积的所述第一部分反应，以在所述衬底上形成复合膜沉积。