全光固体超快探测芯片、全光固体超快探测器及其探测方法

摘要

本发明提供了一种全光固体超快探测芯片、全光固体超快探测器及其探测方法，解决现有超快诊断设备无法同时具备高时间分辨率、高空间分辨率性能，以及现有电子光学电真空超快诊断设备诊断效果差的问题。其中芯片包括沿入射信号光传输方向依次设置的调制光栅、光学膜系、半导体超快响应材料GaAs/AlGaAs多量子阱结构、第一增透膜、基片及第二增透膜，信号光入射调制光栅，探针光入射第二增透膜；所述光学膜系对信号光进行增透、对探针光进行增反；所述半导体超快响应材料GaAs/AlGaAs多量子阱结构用于探测信号光，并经调制光栅调制，在半导体超快响应材料GaAs/AlGaAs多量子阱结构内部形成与信号光相对应的空间分布图样；所述第一增透膜和第二增透膜对探针光进行增透。