光机集成分析面形误差处理方法

摘要

本发明公开了一种光机集成分析面误差处理方法，涉及一种处理镜体有限元分析结果中提取镜面刚体位移，球差以及镜面柔性误差的方法，计算镜面面形误差时减去镜面的刚体位移与球差，镜面刚体位移在装调过程中弥补，球差通过调焦弥补。在镜面节点刚体位移中分离出镜面的刚体位移与球差，为了与光学软件配合，需要依据光学软件中各个镜面的顶点坐标系，在有限元模型中定义镜面刚体位移坐标系，从而保证光机集成分析中刚体位移一致。刚体位移计算方法中进行两次刚体位移计算，第二次的刚体位移量与第一次相比，刚体位移量值上更大，能够将更多的柔性变形转换为刚体位移，不遗漏任何柔性变形。本发明不仅适用于同轴镜面，同样适用于离轴使用的镜体表面。