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一种为制备二维材料工业化生产表面单晶化铜基底的方法

摘要

本发明公开了一种为制备二维材料工业化生产表面单晶化铜基底的方法,包括以下步骤:(1)将多晶铜于空气中230℃加热10min以上;(2)将经步骤(1)处理后的铜箔放入化学气相沉积反应炉内,通入氩气,使得整个腔体维持在大气压状态并完全充满氩气,开始加热,25min从室温升到850℃,15min从850℃升到1050℃,并在1050℃、大气压下的氩气环境中退火;(3)停止加热,将化学气相沉积反应炉温度降至700℃,随后降至室温。本发明制备了表面晶向一致的铜基底,制备方法简单,工艺流程简单,成本低,适于工业化生产,解决了单晶铜箔价格昂贵的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN110387575A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-10-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江大学;

    申请/专利号CN201810343286.1

  • 发明设计人 赵沛;王宏涛;汪洋;徐晨;

    申请日2018-04-17

  • 分类号C30B1/02(20060101);C30B29/02(20060101);

  • 代理机构33100 浙江杭州金通专利事务所有限公司;

  • 代理人徐关寿

  • 地址 310007 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

  • 入库时间 2024-02-19 13:49:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B1/02 申请日:20180417

    实质审查的生效

  • 2019-10-29

    公开

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