法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01V1/30 申请日:20190617
实质审查的生效
2019-09-17
公开
公开
机译: 处理PVD目标构造的非杂散区域以形成粒子陷阱的方法以及包含投影的PVD目标构造在非杂散区域中的方法
机译: 处理PVD目标构造的非杂散区域以形成粒子陷阱的方法以及包含投影的PVD目标构造在非杂散区域中的方法
机译: 处理PVD目标构造的非杂散区域以形成粒子陷阱的方法以及包含投影的PVD目标构造在非杂散区域中的方法