空气上浮式振动控制系统

摘要

本发明提供一种空气上浮式振动控制系统，其包括：配置在设置面G上的基台；载置构成振动控制对象物的构造物M的架台；多个空气弹簧体，其垂直配置于基台和架台之间，在上表面侧具备空气喷出孔，且具备与架台的下表面接合的滑动件，使用空气弹簧，该空气弹簧通过相应于来自空气配管的空气供给的空气从空气喷出孔向架台下表面侧的喷出，使该架台与构造物一起从固定位置向上方上浮并同时滑移移动；配置在滑动件的外周区域的防止空气泄漏用的密封件；能够经由空气配管对各空气弹簧体供给空气或停止空气供给的空气源；检测基台侧或架台侧的振动的振动传感器；以及根据振动传感器的检测信号控制空气的供给或供给停止的控制器。