外观检查装置以及外观检查装置的照明条件设定方法

摘要

本发明提供一种外观检查装置以及外观检查装置的照明条件设定方法，即便不具备充分的光学知识或经验，也能够在外观检查装置中设定最优照明条件。本外观检查装置具有照明部，将照明光照射于被检查物；摄像部，对被检查物进行拍摄；缺陷检测部，对由摄像部所拍摄的被检查物的图像进行分析，检测被检查物的缺陷；照明条件设定部，设定照射于被检查物的照明光的照明条件；以及最优照明条件导出部，根据利用多个不同的所述照明条件所拍摄的图像对各照明条件进行评分，由此导出最优照明条件，此最优照明条件是最适于缺陷检测部检测被检查物的缺陷的照明条件。