一种外包覆式高效能低漏电流的肖基二极管结构及其制造方法

摘要

一种外包覆式高效能低漏电流的肖基二极管结构及其制造方法，该外包覆式高效能低漏电流的肖基二极管结构包括一下金属层，其作为欧姆接口；一基板位于该下金属层上方；一磊晶层位于该基板的上方，且具有第一导电形态；该磊晶层掺杂形式与该基板相同，且其掺杂浓度较小；一上金属层位于该磊晶层上方，该上金属层作为肖基接口；两个保护区，其位于该磊晶层两侧及该上金属层的下方；各保护区由该磊晶层的上表面掺杂杂质而形成，其中，该保护区的导电形式与该磊晶层的导电形式不相同；其中，该上金属层、该保护区、该磊晶层及该基板的两个侧边分别形成一沟槽；以及两个挡板分别位于该沟槽中且包覆该上金属层、该保护区、该磊晶层及该基板的侧边。