EFEM系统以及EFEM系统中的气体供给方法

摘要

本发明提供EFEM系统以及EFEM系统中的气体供给方法。在利用非活性气体置换EFEM的内部空间的气氛的情况下，削减使对大气开放过后的内部空间的湿度下降所需要的非活性气体的供给量。EFEM系统包括：非活性气体供给通路(61)，其能向EFEM(1)的内部空间(40)供给氮；第1切换部(63)，其进行自非活性气体供给通路(61)向内部空间(40)供给非活性气体的状态与不进行该供给的状态的切换；干燥空气供给通路(71)，其能向内部空间(40)供给干燥空气；以及第2切换部(73)，其进行自干燥空气供给通路(71)向内部空间(40)供给干燥空气的状态与不进行该供给的状态的切换。