重工药液及其制备方法、重工装置

摘要

本发明提供一种重工药液及其制备方法、重工装置。本发明的重工药液包括如下重量份的组分：去离子水：20～30份；四甲基氢氧化铵：3～10份；二甲基亚砜：30～45份；N‑甲基吡咯烷酮：1～5份；二甘醇‑甲醚：10～20份；羟胺：1～5份。本发明能够提高对基板重工的效果。