公开/公告号CN110186632A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-30
原文格式PDF
申请/专利权人 航天科工空间工程发展有限公司;
申请/专利号CN201910428714.5
发明设计人 高强;
申请日2019-05-22
分类号G01M7/02(20060101);
代理机构11120 北京理工大学专利中心;
代理人李微微
地址 430400 湖北省武汉市新洲区双柳街学林路特1号
入库时间 2024-02-19 13:36:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M7/02 申请日:20190522
实质审查的生效
2019-08-30
公开
公开
机译: 包含在半导体设备中或包含在其中的电振动产生装置,以协助激励或解决隧道中的基板基质转移,然后维护其中包含/或在其中弯成一排的带电形状的传感器这样的布置隧道的整体隧道部分,因此在操作过程中最少也不会中断,从而至少在典型的高频振动振动条件下保持最低的低频脉动状态
机译: 一种用于设备的系统,该设备旨在在没有基础的情况下全方位地保持机器,并消除它们产生的振动和噪声传到地面上
机译: 一种用于设备的系统,该设备旨在在没有基础的情况下全方位地保持机器,并消除它们产生的振动和噪声传到地面上