公开/公告号CN110257916A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201910519508.5
申请日2019-06-14
分类号C30B29/46(20060101);C30B25/00(20060101);H01L29/24(20060101);H01L31/032(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人喻颖
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-06-18 07:14:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/46 申请日:20190614
实质审查的生效
2019-09-20
公开
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