基于机器人的平面面形子孔径拼接干涉测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于机器人的平面面形子孔径拼接干涉测量装置及方法，包括干涉仪、工业机器人以及坐标系建立组件，所述干涉仪能够通过连接工装安装在工业机器人上，所述坐标系建立组件包括参考件和校准件，所述校准件包括能够安装在工业机器人上的连接盘和设置在连接盘一侧的校准杆，所述校准杆的延伸方向与连接盘的连接盘安装轴线平行，该校准杆与连接盘距离最远的一点为校准点。本发明具有结构灵活简单、应用范围广、高效安全、环境适应性好等优点，兼具子孔径干涉测量的高空间分辨率等优点，可以同时满足各种重力姿态下的大口径光学元件平面面形高精度在位测量问题，可以进行表面未经过镀膜或打毛等处理的平面面形测量。