膜片型光纤法珀腔传感器制备装置、传感器制备方法以及膜片型光纤法珀腔传感器

摘要

本发明涉及一种膜片型光纤法珀腔传感器制备装置、传感器制备方法以及膜片型光纤法珀腔传感器，所述系统包括腐蚀部件、可升降夹具、控制部件、压力舱、加压部件、压力测量部件和腔长测量部件；所述腐蚀部件内盛装腐蚀液，用于减薄膜片型光纤法珀腔传感器预制体的膜片厚度；所述可升降夹具用于固定所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体；所述控制部件用于控制所述可升降夹具的升降，所述压力舱为密闭空间，所述腐蚀部件和所述可升降夹具均置于所述压力舱内，所述加压部件与所述压力舱连接，所述压力测量部件用于测量所述压力舱内的气压大小；所述腔长测量部件用于测量所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体的实时腔长。