公开/公告号CN110133967A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-16
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡吉微精密电子有限公司;
申请/专利号CN201910510461.6
申请日2019-06-13
分类号G03F7/20(20060101);H01L21/683(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构32376 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张悦
地址 214000 江苏省无锡市新吴区梅村锡泰路215号
入库时间 2024-02-19 13:31:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20190613
实质审查的生效
2019-08-16
公开
公开
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