新型水溶性咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法

摘要

新型结构的咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法，此类缓蚀剂的特点是以咪唑啉胺结构中的伯氨基为化学反应基团，将季铵盐结构以共价键形式直接引入咪唑啉结构中。此类缓蚀剂的制备方法为：首先，通过月桂酸(或油酸)与二乙烯三胺反应制备月桂酸咪唑啉胺(或油酸咪唑啉胺)；之后，利用月桂酸咪唑啉胺(或油酸咪唑啉胺)与2,3‑环氧丙基三甲基氯化铵反应，制备其相应的新型咪唑啉季铵盐缓蚀剂。发明的有益效果在于，所得咪唑啉季铵盐缓蚀剂具有良好的水溶性，制备过程避免了有毒物质的使用，易实现绿色生产。