感光性聚酰亚胺组成物及其所制成的光阻膜

摘要

一种感光性聚酰亚胺组成物，其包括具有以式(1)所示的结构单元及以式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂、醌迭氮磺酸盐、热硬化剂、以及热酸产生剂。