公开/公告号CN110284117A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-27
原文格式PDF
申请/专利权人 瑞声科技(新加坡)有限公司;
申请/专利号CN201910487384.7
申请日2019-06-05
分类号C23C16/24(20060101);C23C16/56(20060101);C23C16/44(20060101);C30B28/14(20060101);C30B29/06(20060101);C30B31/08(20060101);C30B33/02(20060101);
代理机构44288 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙);
代理人齐则琳;张雷
地址 新加坡卡文迪什科技园大道85号2楼8号
入库时间 2024-02-19 13:17:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-29
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/24 申请日:20190605
实质审查的生效
2019-09-27
公开
公开
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机译: 多晶硅薄膜的制造方法以及使用通过该制造而制造的多晶硅薄膜制造的薄膜晶体管
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