一种基于白光零差干涉的高灵敏表面形貌测量系统

摘要

本发明提供一种基于白光零差干涉的高灵敏表面形貌测量系统，其包括白光光源(1)、第一透镜(2)、第二透镜(3)、第一分光镜(4)、第二分光镜(5)、参考镜(6)、被测物(7)、闭环PZT(8)、反射镜(9)、第三分光镜(10)、第一光电探测器(11)、第二光电探测器(12)、频谱分析仪(13)和计算机(14)。本发明结构简单，利用白光光谱很宽，相干长度短的特点，且干涉零级条纹具有较好的对比度，其光强值也明显大于其它条纹。一次干涉后是暗条纹或亮条纹，斜率为零。经过二次干涉(零差探测)，斜率达到最大，以此来提高灵敏度。其中使用的闭环PZT可起到反馈的作用，减小外界的干扰，具有重要的应用价值。