光波导、单光子源及光波导的制作方法

摘要

一种光波导(10)、单光子源(30)及光波导(10)的制作方法，光波导(10)包括：调控电极(103)、无源波导(101)和位于无源波导(101)之上的有源波导(102)；有源波导(102)包括：位于无源波导(101)之上的第一掺杂层(102a)、位于第一掺杂层(102a)之上的中性有源层(102b)、以及位于中性有源层(102b)之上的第二掺杂层(102c)，第一掺杂层(102a)和第二掺杂层(102c)电性相反，中性有源层(102b)含有量子点；调控电极(103)包括第一电极(103a)和第二电极(103b)；第一掺杂层(102a)上形成有第一电极部(104)，第一电极部(104)上形成有第一电极(103a)；第二掺杂层(102c)上形成有第二电极部(105)，第二电极部(105)上形成有第二电极(103b)。由于第一掺杂层(102a)和第二掺杂层(102c)上分别形成有第一电极(103a)和第二电极(103b)，通过对第一电极(103a)和第二电极(103b)施加电压，在第一掺杂层(102a)和第二掺杂层(102c)之间形成一电场，调控电场能够对发光波长进行调节。