一种基于SCR结构的新型ESD保护器件

摘要

本发明公开一种基于SCR结构的新型ESD保护器件，包含P+sub，P+sub上方设有P‑外延层，P+sub表面到内部有STI隔离层，STI隔离层之间设有N型掺杂层、N+掺杂层和P+掺杂层，P+掺杂层一侧直接与金属层I相接，N型掺杂层位于P+掺杂层另一侧，N+掺杂层位于金属层I下方，N型掺杂层一侧设有P型掺杂层，P型掺杂层下方有P+型掺杂层，N+层位于金属层II两侧，P+层位于金属层II下方，P型掺杂层位于N+层与N型层之间的表面处，P+型掺杂层位于N+层与N型层之间的体内处，P+型掺杂层的区域形状为填充整个P型掺杂层、N+层与N型层之间或填充部分，或多段填充，金属层I和金属层II之间有介质层。有利于保护ESD器件不被较大的电流、较高电压所损伤，避免了器件的表面集中效应。