一种匀光装置、光匀化设备及匀光方法

摘要

本发明涉及匀化技术领域，公开了一种匀光装置、光匀化设备及匀光方法。本发明包括第一匀光模组和第二匀光模组，入射光能够依次经过所述第一匀光模组后分为第一光和第二光，第二光和第三光经过第二匀光模组后会分成第四光、第五光、第六光和第七光，使得入射光的能量由较为汇聚的状态变为能量分布较为平均的状态。