一种消场曲及消像散的355nm紫外远心f-theta镜头

摘要

本发明公开了一种消场曲及消像散的355nm紫外远心f‑theta镜头，包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口片。本发明通过特定结构光学系统的设置，使得远心F‑theta镜头的场曲、及像散降低非常显著；进一步，借助自由曲面的较高的设计自由度和灵活的空间布局，以及透镜组光焦度的合理分配，像散小于0.04mm，场曲控制在0.02mm内；远心度小于1°；适用于对平场及像散要求较高的紫外激光微精细加工或者紫外激光钻孔等对平场要求苛刻的领域。