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通过光纤激光器使非晶硅衬底均匀再结晶的工艺和系统

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用于使非晶硅(a‑Si)膜结晶的本发明系统配置有准连续波光纤激光源，该准连续波光纤激光源操作为发射膜照射脉冲光束。光纤激光源操作为发射入射在a‑Si上的多个非重复脉冲。具体地，光纤激光器操作为以突发重复率(BRR)发射膜照射光的多个分立分组，并且以高于BRR的脉冲重复率(PRR)在每个分组内发射多个脉冲。每个脉冲的脉冲能量、脉冲持续时间以及PRR被控制为使得每个分组具有期望的分组时间功率分布(W/cm

著录项

公开/公告号CN109979805A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-05

原文格式PDF
申请/专利权人 IPG光子公司;
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申请/专利号CN201910297108.4
发明设计人尤里·叶罗欣;伊格尔·山马尔特瑟夫;
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申请日2015-07-01
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人纪雯
地址美国马萨诸塞州
入库时间 2024-02-19 12:31:50

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-30

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20150701

实质审查的生效
2019-07-05

公开

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