公开/公告号CN110062817A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-26
原文格式PDF
申请/专利权人 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司;
申请/专利号CN201780076504.3
申请日2017-12-14
分类号
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人杨贝贝
地址 法国巴黎
入库时间 2024-02-19 12:27:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/40 申请日:20171214
实质审查的生效
2019-07-26
公开
公开
机译: 含镧系元素前体的制备和含镧系元素膜的沉积
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