一种持久耐用具有抗菌功能的硬质涂层的制备方法

摘要

本发明涉及硬质涂层技术领域，具体公开了一种持久耐用具有抗菌功能的硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：将工件经清洗后放入真空室内的旋转样品架中，利用机械泵和涡轮分子泵将腔室抽至高真空；在真空室的外壁安装矩形磁控靶，所述磁控靶为六个，靶材用纯钨或钼，其中一个靶材用银或铜，相邻磁控靶的磁极相反；采用高纯氩气作为工作气体，高纯氧气作为反应气体进行溅射过程，在基材表面最终形成氧化钨或氧化钼涂层，并在涂层中镶嵌有银或铜的纳米颗粒。该持久耐用具有抗菌功能的硬质涂层的制备方法，采用反应溅射的方法，在不同基材上制备金属氧化物涂层，具有优良的抗菌性能。