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公开/公告号CN110010754A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-12
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江大学;
申请/专利号CN201910243096.7
发明设计人 王剑平;孙莹;曹蕊;聂鑫;
申请日2019-03-27
分类号H01L41/08(20060101);H01L41/113(20060101);G01N15/10(20060101);
代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;
代理人林超
地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2024-02-19 12:18:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/08 申请日:20190327
实质审查的生效
2019-07-12
公开
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