基于正弦宽频电场下空间电荷测量的电介质陷阱检测系统

摘要

一种测量技术领域的基于正弦宽频扫描电场下空间电荷测量的电介质陷阱检测技术，由电荷检测器、数据传输和存储模块、表征量提取模块和陷阱分布模块四部分构成，通过对样品施加100μHz至1MHz不同频率点电场，检测1μs至10000s不同时间尺度激励场下样品内部的空间电荷响应，经对空间电荷原始信号的处理，提取频率、相位偏移量、电荷量分布、电荷极性分布、电荷迁移率等特征参量，并与陷阱分布进行关联，获得陷阱的陷阱密度和陷阱深度分布。在30℃恒定温度下，陷阱深度的检测范围可达0.41‑1.01eV。