一种基于自适应专家系统的真空浓度预估方法

摘要

本发明涉及一种基于自适应专家系统的真空浓度预估方法，包括参数设定模块、测量模块、数据计算模块、工艺点采样模块、工艺点过滤模块、专家库模块、实时计算模块、输出模块以及集成控制系统，包括以下步骤（1）参数查阅、（2）数据测量、（3）数据计算、（4）工艺点采样、（5）工艺点过滤、（6）专家库更新、（7）实时计算并输出、（8）外部控制；可以实现多维存储、自动优化、动态建模、具有较高的自适应能力。