柱高测量方法、柱高测量装置和柱高测量系统

摘要

本发明提供一种柱高测量方法、柱高测量装置和柱高测量系统，所述方法包括：获取待测彩膜基板的番号信息；将所述彩膜基板的番号信息发送给服务器，以使所述服务器根据所述番号信息获得所述番号信息对应的测量参数；接收所述服务器发送的所述测量参数；根据所述测量参数对所述彩膜基板的柱状垫层高度进行测量，本发明提供的柱高测量方法、柱高测量装置和柱高测量系统，解决了现有柱高测量时需手动切换制程参数，人为操作过多造成工作效率低下以及设备跳点异常增加的技术问题。