公开/公告号CN110023535A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 弗萨姆材料美国有限责任公司;
申请/专利号CN201780074937.5
申请日2017-10-25
分类号C23C16/30(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/50(20060101);C23C16/48(20060101);H01L21/02(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人吴亦华;徐志明
地址 美国亚利桑那州
入库时间 2024-02-19 12:09:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-09
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/30 申请日:20171025
实质审查的生效
2019-07-16
公开
公开
机译: 用于制造用于填充的表面特征低K膜的前体和可流动CVD方法
机译: 用于制造低K膜以填充表面特征的前体和可流动CVD方法
机译: 用于制造低k膜填充表面特征的前体和可流动CVD方法