基于Open VPX的高精度高速运动台同步运动控制系统及方法

摘要

本发明提出一种基于Open VPX的高精度高速运动台同步运动控制系统，包括系统控制卡、运动控制卡、数据采集控制卡、光栅信号处理卡、多通道数模转换控制器、运动台环境信息采集卡、电机驱动器、电涡流采集板、传感器信息采集板、光栅尺读数头和上位机。本发明采用Open VPX支持VITA66.4光互连背板总线协议，采用的光纤连接器支持多通道光纤互连，单通道的数据传输速率可达14Gbps，采用光互连背板总线进行数据传输，可以满足高端光刻机运动台同步控制系统不断提升的高伺服频率，大数据量和高实时性的要求。