一种DI机投图控制系统及对曝光位置进行补偿的方法

摘要

本发明了提供一种DI机投图控制系统，同时提供了对曝光位置的进行补偿方法，以解决现有技术中曝光载板平台在二维平面的各区域走位不均匀、位置精度不够的问题，在曝光载板平台上建立平面坐标系，将曝光载板平台沿坐标轴方向等分成若干曝光条带，每个曝光条带等分成若干区域；进行预曝光，通过相机系统抓取曝光图形的位置，分别在每个曝光条带上，计算每个区域的曝光图形的误差补偿值；按曝光条带分别通过每个区域的误差补偿值对曝光位置进行补偿。