基于聚酰亚胺涂覆半导体纳米线基片的电子传感器

摘要

本发明涉及一种基于聚酰亚胺涂覆半导体纳米线基片的电子传感器，属于湿度探测、盐分探测以及皮肤汗液检测领域。通过温度和压力可控的低成本CVD方法在柔性云母衬底上生长组分可调的三元CdS1‑xSex(x＝0到1)合金半导体纳米结构，然后通过热蒸发或电子束蒸发镀膜技术，在分布有渐变纳米结构的基片上制作叉指电极结构，并用银胶将导电金属丝粘在叉指电极上引出外接电极，最后在基片表面旋涂聚酰亚胺薄膜，从而实现具有对湿度、盐分以及汗液进行探测的新型多功能传感器。所述电子传感器具有探测面积大、制作成本低、响应性能优良等特点，在高精度湿度、盐分探测以及皮肤汗液实时检测领域具有非常重要的意义与潜在的应用价值。