一种测量固体物质中氘和氚深度分布的方法

摘要

本发明公开了一种测量固体物质中氘和氚深度分布的方法，首先使用氘离子轰击待测固体物质，随后测量轰击过程中产生的质子和α粒子能谱，再通过能够自洽处理待测氢同位素浓度深度分布与阻止本领的数据处理模型，获得固体物质中氢同位素分布信息。本发明的优点在于：可同时分析两种氢同位素，即氘与氚，在固体物质中深度分布，并且分析结果与分析过程中阻止本领是自洽的。