钛膜中氘氚浓度的弹性反冲法测量

摘要

研究采用弹性反冲探测(ERD)方法测量钛膜中氘、氚的浓度.实验所用Ti膜用磁控溅射法制备,膜厚小于100 nm,以石英玻璃(SiO2)为底衬,Ti膜加镀了1层Ni保护膜,以防Ti膜氧化和增强Ti膜吸氢.以6.0 MeV O粒子作为入射粒子,在30°方向上探测反冲粒子,在此实验条件下,O粒子对D、T的碰撞截面为卢瑟福截面.对两个样品用ERD方法测量钛膜中的D、T含量,获得了D、T的面密度.测量结果表明,采用如上方法测量Ti膜中D、T浓度的误差小于7%.