公开/公告号CN110058134A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-26
原文格式PDF
申请/专利权人 上海市共进通信技术有限公司;
申请/专利号CN201910346090.2
申请日2019-04-26
分类号G01R31/12(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人王洁;郑暄
地址 200235 上海市徐汇区虹梅路1905号远中科研楼7楼
入库时间 2024-02-19 11:50:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/12 申请日:20190426
实质审查的生效
2019-07-26
公开
公开
机译: 具有紧凑的垂直和水平线性线性定位挠性阶段的方法和精密纳米定位装置,用于实现增强的纳米定位性能
机译: 改善水平和垂直定位精度的装置和方法
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