一种有效调控微腔腔长的方法

摘要

本发明公开了一种有效调控微腔腔长的方法。该方法是通过旋涂办法实现的，包括如下步骤：将PS溶于甲苯溶剂中，其次将有机分子溶于PS甲苯溶液中，加热使其全部溶解，形成混合溶液；在将配制好的混合溶液旋涂于80nm银膜上，通过控制甩膜仪转速与PS甲苯溶液的浓度来有效控制掺杂薄膜厚度，从而达到有效控制腔长的目的，再在有机薄膜上蒸镀上30nm银膜从而构成平板微腔，最后测试在不同腔长下的微腔中强耦合现象。在该方法中，所用设备简单，快速方便，操作简单，成本低，可重复性非常高，并且薄膜粗糙度小，整个微腔的品质因子较高，对实现全金属微腔中的强耦合具有较高的应用价值。