用于基于压力的自校正质量流量控制器的装置和方法

摘要

一种基于压力的自校正质量流量控制装置包括出口压力感测，以便能够校正非理想的运行状态。此外，质量流量控制装置具有流体路径、流体路径中的截止阀、流体路径中的参考容积、与参考容积流体连通的第一压力测量传感器、提供指示参考容积内的流体温度的温度信号的第一温度测量传感器、流体路径中的比例阀、以及与流体路径流体连通的第二压力测量传感器。