用于减少衍射效应的互补孔径

摘要

提供了一种方法，该方法包括：确定用于利用成像设备执行测量的第一组孔径图案和第二组孔径图案，使得对于第一组孔径图案中的每个孔径图案，在第二组孔径图案中存在互补孔径图案，其中成像设备包括传感器和孔径组件，孔径组件具有多个孔径元件；通过以下针对第一组和第二组中的每个相应孔径图案执行测量：根据该相应孔径图案，改变与多个孔径元件中的一个或多个孔径元件相关联的属性；并且处理所执行的测量以提取关于图像的信息。