一种基于二氧化锡修饰氧化锌纳米材料的电阻型NO2传感器及其制作方法

摘要

一种基于二氧化锡修饰氧化锌纳米材料的电阻型NO2传感器及其制作方法，属于气体传感器技术领域。传感器为管式结构，由Al2O3陶瓷管衬底、涂覆在Al2O3陶瓷管衬底外表面的两条平行且彼此分立的环状Au电极、涂覆在Al2O3陶瓷管外表面和环状Au电极上的二氧化锡修饰氧化锌纳米材料气体敏感薄膜、穿过Al2O3陶瓷管内部的镍铬合金加热线圈组成。表面功能化的氧化锡修饰氧化锌纳米材料对NO2具有优异的气敏特性，包括高的灵敏度和快的响应恢复速率，解决了纯态氧化锌气体传感器通常敏感性能较差的问题。本发明可以通过控制反应温度、反应时间以及反应前驱物的比例等实验参数实现表明功能化氧化锌材料的组成、结构等性能的调控，从而提高传感器的性能。