一种电子级高纯多晶硅还原启动设备和启动方法

摘要

本发明提供了一种电子级高纯多晶硅还原启动设备和启动方法，包括微波发生装置和还原装置；还原装置包括第一电源组件和至少一个还原炉；还原炉的炉体具有微波馈入口，微波馈入口具有至少一层密封罩，密封罩与炉体构成密封的腔体；微波发生装置产生的微波透过密封罩进入炉体内，对炉体内的发热体进行加热，以使发热体的温度达到启动温度；第一电源组件用于在发热体的温度达到启动温度后，对发热体进行低电压供电，以使多晶硅沉积在发热体表面，从而避免了高电压供电带来的安全隐患，保证了设备的安全运行；并且，由于微波发生装置位于还原炉外，且微波是在穿透密封罩后，进入密封的炉体内部的，因此，不会引入杂质，从而保证了生成的多晶硅的高纯度。