用于测量平晶绝对面形的立式激光干涉测量设备及方法

摘要

本发明提供了一种用于测量平晶绝对面形的立式激光干涉测量设备以及测量方法，采用三平面互检的方式对三个平晶的工作面的绝对面形进行测量，包括：设备主体，包含激光发射器、滤波器、分光镜、准直透镜、成像物镜、图像探测器以及处理部；参考平晶承载装置，位于准直透镜的正下方并且与该准直透镜同光轴设置，用于承载作为参考平晶的平晶；以及平晶旋转承载装置，位于参考平晶承载装置的正下方并且与该参考平晶承载装置同光轴设置，用于承载作为待测平晶的平晶，其中，平晶旋转承载装置具有固定盘、旋转承载部以及限定部，限定部用于在旋转盘切换至第一位置时将旋转盘限定在第一位置以及在旋转盘切换至第二位置时将旋转盘限定在第二位置。