一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置

摘要

一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置，该新型石英舟装置结构为内部由10‑13个石英舟花篮、若干支杆、左右舟托、四根舟杆所组成。本发明主要目的是提升扩散产能并改善扩散均匀性，采用新型设计的石英舟，可有效地解决产能低，扩散均匀性差，大大提高了产能及电性能良率。