一种提高金属散热器微通道电铸均匀性的方法

摘要

本发明提出了一种提高金属散热器微通道电铸均匀性的方法，首先在基板上涂覆光刻胶，在基板上涂光刻胶，然后进过自平整、覆盖掩膜板进行曝光，后烘、显影，得到可用于微通道电铸的胶膜结构；然后对基板上的胶膜进行电铸：电铸过程在兆声环境中进行，将基板作为阴极，同时阴极施加旋转运行，对铸液循环过滤，在胶膜结构的通道中形成微通道铸层；最后去除胶膜，形成最终的均匀性较好的散热器微通道：将电铸后的放入去胶液中浸泡，待结构上的胶膜全部去除后取出，使用去离子水漂洗后得到铸层厚度均匀的金属微通道结构；本发明显著的提高了金属微通道铸层的均匀性。