投影系统、小尺寸的直角棱柱体反射镜以及制造小尺寸的直角棱柱体反射镜的方法

摘要

本发明提供了一种制造小尺寸的直角棱柱体反射镜的方法、投影系统以及用半导体制程制造的小尺寸的直角棱柱体反射镜。该方法包含有：在一玻璃基板的一顶表面上涂布一反射层；在该玻璃基板的一底表面上形成一光学胶层；利用一模具在该光学胶层上形成一3D形状；曝光具有该3D形状的该光学胶层以固化具有该3D形状的该光学胶层，并结合具有该反射层的该玻璃基板和具有该3D形状的该光学胶层；去除该模具以形成一小尺寸棱柱体阵列；以及切割该小尺寸棱柱体阵列以产生多个小尺寸的直角棱柱体反射镜。