基于液晶空间光调制器的空间移相动态干涉仪及其应用

摘要

本发明属于光学技术领域，具体涉及基于液晶空间光调制器的空间移相动态干涉仪及其应用；干涉仪包括：He‑Ne激光器、第一针孔滤波、第一准直扩束系统、λ/2波片、偏振分光棱镜、第一λ/4波片、第二准直扩束系统、第二针孔滤波、偏振片、液晶空间光调制器、第二λ/4波片、标准球面镜头、被测镜、检偏器、成像系统、第三针孔滤波和光探测器，通过对SLM的编码调制实现非球面元件与自由曲面元件的动态测试，并通过使用SLM代替微偏振移相阵列实现空间相位调制，不仅装调简单，且不需要微偏振移相阵列，难度大大降低，且本发明具有实时性动态显示的功能，并且耗能低、易控制、速度快，更容易提高空间分辨率，实现高精度测量。