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磁力测量治具及采用该治具进行磁力测量的方法

摘要

本发明提供一种磁力测量治具及采用该治具进行磁力测量的方法。该治具包括:承载架;仪表安装座,被配置为用于安装磁力测量仪;所述仪表安装座与所述承载架配合连接,能够相对于所述承载架在第一平面内移动;连接结构,被配置为用于连接所述承载架与待测量的磁性元件,其中所述磁性元件沿第二平面设置,所述连接结构还被配置为能够调节所述承载架相对于所述磁性元件的水平度,使所述第一平面平行于所述第二平面。采用该磁力测量治具对蒸镀腔室内的磁板进行磁力测量,能够使磁力测量仪保持在一水平位置上进行磁力测量,无需手持磁力测量仪操作,以保证测量的准确性、方便性。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-07-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R33/02 申请日:20190328

    实质审查的生效

  • 2019-06-25

    公开

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