高分辨率全材料菲涅耳波带片阵列及其制造工艺

摘要

本发明涉及一种高分辨率全材料菲涅耳波带片阵列，其包括在公共载体上的复数个全材料菲涅耳波带片。还涉及通过提供包括多个微柱的公共载体和将至少两种不同材料的交替层沉积到至少某些微柱上以制造全材料菲涅耳波带片前体阵列的工艺。还涉及用于生产高分辨率全材料菲涅耳波带片(FZP)阵列的装置；该用于生产高分辨率全材料菲涅耳波带片阵列的装置包括用于在公共载体中提供复数个微柱的第一装置、将至少两种不同材料的交替层施加到布置在公共载体上的至少一些微柱上的沉积装置以及切片装置，该切片装置将全材料菲涅耳波带片从柱中切出。