微小型快速响应绝对压力传感器

摘要

本发明公开了微小型快速响应绝对压力传感器，涉及压力检测领域，包括不锈钢外壳；本发明在使用时，其硅材料表面通过自然氧化或通过附加条件氧化形成一个二氧化硅的氧化层，此氧化层对液体和潮湿气体形成绝缘保护，因此压力传感器可以对带有水分的气体和液体的压力进行接触式测量，使得本装置具有快速的响应时间，提高装置检测的速度；本发明在使用时，由于压力传感器芯体的尺寸非常小，便于小型化，并增强装置对测量介质的环境的适应能力；本发明通过ASIC芯片实现传感器输出被集成电路转化成数字输出或标准模拟信号输出，从而有利于检测的输出以及输出数据的接收，从而提高装置的实用性。